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【判断题】

溅射沉积时,离子只能远离衬底而轰击阴极靶材。

A.
正确
B.
错误
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参考答案:
参考解析:
.
刷刷题刷刷变学霸
举一反三

【多选题】以下哪些是磁控溅射的特点

A.
溅射参数不易独立控制,工艺重复性差
B.
基片温升低,辐照损伤小
C.
工作气压较低,靶电流密度高
D.
基板的温升高,辐照损伤大

【单选题】溅射镀膜中,整个溅射过程建立在______的基础上,溅射时选择的工作区域是______。

A.
辉光放电;汤森放电区
B.
辉光放电;异常辉光放电区
C.
气体放电;正常辉光放电区
D.
气体放电;弧光放电区

【多选题】溅射的方法非常多其中包括()。

A.
直流溅射
B.
交流溅射
C.
反应溅射
D.
二级溅射
E.
三级溅射

【单选题】关于溅射产额描述正确的是( )

A.
当离子入射方向与溅射靶材表面法线之间夹角为90°是,溅射产额最大。
B.
溅射产额随着靶材温度的升高而增加
C.
溅射产额随着入射离子能量的升高而增加
D.
重离子的溅射产额高于轻离子。

【单选题】在溅射镀膜过程中,靶材通常是放在 区进行的。

A.
阿斯顿暗区
B.
克鲁克斯暗区
C.
阴极辉光区
D.
负辉光区
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D.
基板的温升高,辐照损伤大
【单选题】溅射镀膜中,整个溅射过程建立在______的基础上,溅射时选择的工作区域是______。
A.
辉光放电;汤森放电区
B.
辉光放电;异常辉光放电区
C.
气体放电;正常辉光放电区
D.
气体放电;弧光放电区
【多选题】溅射的方法非常多其中包括()。
A.
直流溅射
B.
交流溅射
C.
反应溅射
D.
二级溅射
E.
三级溅射
【单选题】关于溅射产额描述正确的是( )
A.
当离子入射方向与溅射靶材表面法线之间夹角为90°是,溅射产额最大。
B.
溅射产额随着靶材温度的升高而增加
C.
溅射产额随着入射离子能量的升高而增加
D.
重离子的溅射产额高于轻离子。
【单选题】在溅射镀膜过程中,靶材通常是放在 区进行的。
A.
阿斯顿暗区
B.
克鲁克斯暗区
C.
阴极辉光区
D.
负辉光区