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【单选题】

溅射镀膜中,整个溅射过程建立在______的基础上,溅射时选择的工作区域是______。

A.
辉光放电;汤森放电区
B.
辉光放电;异常辉光放电区
C.
气体放电;正常辉光放电区
D.
气体放电;弧光放电区
题目标签:溅射选择工作区
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参考答案:
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