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举一反三
相关题目：
【多选题】离子溅射泵的构成包含哪些组件？（）
A.
高电压电源
B.
磁铁
C.
Ti阴极板
D.
阳极管
【多选题】以下哪些是磁控溅射的特点
A.
溅射参数不易独立控制，工艺重复性差
B.
基片温升低，辐照损伤小
C.
工作气压较低，靶电流密度高
D.
基板的温升高，辐照损伤大
【判断题】离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。
A.
正确
B.
错误
【多选题】溅射的方法非常多其中包括（）。
A.
直流溅射
B.
交流溅射
C.
反应溅射
D.
二级溅射
E.
三级溅射
【单选题】磁控溅射中（）被磁气回路的磁力线捕获
A.
电子
B.
原子
C.
粒子
D.
分子
【单选题】对于绝缘材料化合物的溅射制膜,只能采用( )溅射。
A.
偏压
B.
反应
C.
直流
D.
射频