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【简答题】

刻蚀模

题目标签：刻蚀
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【简答题】刻蚀模
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【简答题】刻蚀主要有 和 两大类。
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【简答题】刻蚀有哪些参数？
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【简答题】[名词解释] 刻蚀模
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【简答题】干法刻蚀有高的还是低的选择比？
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【单选题】5道RENA刻蚀机滚轮速度范围（）
A.
1.0-2.3
B.
1.3-2.5
C.
1.0-2.5
D.
1.5-2.5
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【单选题】Line Wet Etch采用的刻蚀方式（）
A.
Time Etch
B.
EPD Etch
C.
OVER ETCH
D.
JUST ETCH
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【单选题】刻蚀机药槽有几个（）
A.
1
B.
2
C.
3
D.
4
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【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是
A.
稀释碱
B.
去PSG（磷硅玻璃）丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
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【简答题】简述干法刻蚀的应用
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【多选题】刻蚀减薄量道间差的原因有（）。
A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常
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【简答题】什么是干法刻蚀？
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【单选题】刻蚀下料机的作用是
A.
将刻蚀后硅片收集插入花篮
B.
制造倒金字塔绒面
C.
制PN结
D.
镀膜
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【简答题】什么是刻蚀？
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【简答题】刻蚀及去PSG的目的是什么？
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【简答题】刻蚀的目的是什么？
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【多选题】⑯ 干法刻蚀
A.
为平行平板反应离子刻蚀
B.
被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.
存在缺陷和污染等物理损伤，要采取措施处理
D.
要用到刻蚀液
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【简答题】简述BOE(或BHF)刻蚀SiO2的原理。
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【多选题】刻蚀法可以分为（ ）。
A.
化学刻蚀
B.
激光毛化
C.
光刻蚀
D.
电子束刻蚀
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【简答题】湿法刻蚀有什么缺点？
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【单选题】5道RENA刻蚀机滚轮速度范围（）
A.
1.0-2.3
B.
1.3-2.5
C.
1.0-2.5
D.
1.5-2.5
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【单选题】Line Wet Etch采用的刻蚀方式（）
A.
Time Etch
B.
EPD Etch
C.
OVER ETCH
D.
JUST ETCH
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【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是
A.
稀释碱
B.
去PSG（磷硅玻璃）丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
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【多选题】刻蚀减薄量道间差的原因有（）。
A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常
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【单选题】刻蚀下料机的作用是
A.
将刻蚀后硅片收集插入花篮
B.
制造倒金字塔绒面
C.
制PN结
D.
镀膜
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【多选题】⑯ 干法刻蚀
A.
为平行平板反应离子刻蚀
B.
被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.
存在缺陷和污染等物理损伤，要采取措施处理
D.
要用到刻蚀液
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【多选题】刻蚀法可以分为（ ）。
A.
化学刻蚀
B.
激光毛化
C.
光刻蚀
D.
电子束刻蚀
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