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刷刷题APP > 干法刻蚀
"干法刻蚀"相关考试题目
1.
硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸,干法刻蚀所用的气体为NF3。
2.
什么是干法刻蚀?最先进的干法刻蚀系统是什么?
3.
完成干法刻蚀卸片后应将硅片送交______。
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干法刻蚀工艺中不存在化学反应。( )
5.
干法刻蚀有哪几种?相应的内容是什么?
6.
湿法刻蚀和干法刻蚀的区别?
7.
简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
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什么是干法刻蚀:分类各自特点?
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干法刻蚀的检测工具有()
10.
干法刻蚀的方式主要有:溅射刻蚀、等离子体刻蚀、 刻蚀三种。(写文字)
11.
干法刻蚀适用于刻蚀3um以下的线条。
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干法刻蚀有高的还是低的选择比?
13.
干法刻蚀在刻蚀机上设定的工艺参数包括______。
14.
干法刻蚀速率越快越好
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5. 湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是
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干法刻蚀的步骤包括
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干法刻蚀有哪几种?相应的内容是什么?
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12 干法刻蚀所用的原料有哪些?
19.
什么是干法刻蚀?什么是湿法刻蚀?比较二者的优缺点。
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列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点,干法刻蚀的不足之处是什么?
21.
与湿法腐蚀比较,以下是干法刻蚀的优点是: 。
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简述干法刻蚀的应用
23.
相较于湿法腐蚀,下列哪一项是干法刻蚀的优点?
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与干法刻蚀相比湿法刻蚀的优点包括______。
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什么是干法刻蚀?
26.
一般湿法刻蚀是各向同性,而干法刻蚀则是各向异性。
27.
干法刻蚀成本低、工作效率高
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干法刻蚀操作步骤包括()
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干法刻蚀是如何分类和定义的?
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刻蚀有干法刻蚀和( )。
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下列刻蚀方法中不属于干法刻蚀的是( )
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干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?
33.
干法刻蚀主要包括下面几类()。
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题3-1-10 与湿法腐蚀比较,以下是干法刻蚀的优点是:。
35.
湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是
36.
湿法刻蚀和干法刻蚀的区别?
37.
什么是干法刻蚀?什么是湿法刻蚀?比较二者的优缺点。
38.
晶体硅常用的刻蚀方法有干法刻蚀和湿法刻蚀( )
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湿法刻蚀的分辨率比干法刻蚀的分辨率高。
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干法刻蚀是采用高频辉光放电反应获得______。
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⑯ 干法刻蚀
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通常湿法刻蚀的刻蚀轮廓比干法刻蚀好。
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干法刻蚀的方式主要有:溅射刻蚀、等离子体刻蚀、()刻蚀三种
44.
干法刻蚀有各向同性腐蚀,也有各向异性腐蚀。( )
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下列选项哪个不是干法刻蚀优点? ( )
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湿法腐蚀比干法刻蚀的各向异性好。
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什么是干法刻蚀?什么是湿法刻蚀?比较二者的优缺点。
48.
以下选项中属于干法刻蚀的优点的选项是()。
49.
干法刻蚀有哪几种?相应的内容是什么?
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湿法刻蚀的选择性 干法刻蚀。