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【单选题】

相较于湿法腐蚀,下列哪一项是干法刻蚀的优点?

A.
对下部的衬底损伤小
B.
化学选择性高
C.
化学反应简单易操作
D.
通过离子轰击能达到各向异性,定向腐蚀性好
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参考答案:
参考解析:
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