下载APP
【简答题】
干法刻蚀有哪几种？相应的内容是什么？
题目标签：
干法刻蚀
刻蚀
举报
相关题库：
半导体材料题库
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【判断题】硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸，干法刻蚀所用的气体为NF3。
A.
正确
B.
错误
查看完整题目与答案
【简答题】刻蚀有哪些参数？
查看完整题目与答案
【简答题】干法刻蚀有高的还是低的选择比？
查看完整题目与答案
【判断题】干法刻蚀速率越快越好
A.
正确
B.
错误
查看完整题目与答案
【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是
A.
稀释碱
B.
去PSG（磷硅玻璃）丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
查看完整题目与答案
【简答题】简述干法刻蚀的应用
查看完整题目与答案
【多选题】与干法刻蚀相比湿法刻蚀的优点包括______。
A.
能去除背面的N型硅
B.
硅片洁净度提高
C.
节约用水
D.
碎片率低
查看完整题目与答案
【简答题】什么是刻蚀？
查看完整题目与答案
【简答题】湿法刻蚀有什么缺点？
查看完整题目与答案
【简答题】什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。
查看完整题目与答案
