下载APP
【多选题】
下列可作为磷扩散源的是（）。
A.
磷钙玻璃
B.
三氯氧磷
C.
三氯化磷
D.
磷烷
E.
掺磷二氧化硅乳胶源
举报
题目标签：
扩散源
相关题库：
集成电路制造工艺员（三级）题库
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【简答题】扩散工艺是在硅片的一面通过扩散磷来形成 ,采用 作为扩散源,提供磷原子。
查看完整题目与答案
【简答题】与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
查看完整题目与答案
【单选题】题3-2-5 根据扩散源的不同，有三种不同扩散工艺，以下不是的是。
A.
固态源扩散
B.
液态源扩散
C.
替位式扩散
D.
气态源扩散
查看完整题目与答案
【简答题】扩散源有哪些存在形态？
查看完整题目与答案
【简答题】扩散工艺是在硅片的一面通过扩散磷来形成P-N结,采用( )作为扩散源,提供磷原子。磷扩散的扩散机制是( )。
查看完整题目与答案
【单选题】扩散源成分是（）
A.
三氯氧磷
B.
五氧化磷
C.
五氧化二磷
D.
盐酸
查看完整题目与答案
【多选题】下列可作为磷扩散源的是（）。
A.
磷钙玻璃
B.
三氯氧磷
C.
三氯化磷
D.
磷烷
E.
掺磷二氧化硅乳胶源
查看完整题目与答案
【多选题】下列可作为磷扩散源的是（）。
A.
磷钙玻璃
B.
三氯氧磷
C.
三氯化磷
D.
磷烷
E.
掺磷二氧化硅乳胶源
查看完整题目与答案
【简答题】扩散源有哪些存在形态？
查看完整题目与答案
【单选题】扩散源温一般控制在（）。
A.
19℃
B.
20℃
C.
21℃
D.
22℃
查看完整题目与答案
