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【多选题】
下列可作为磷扩散源的是()。
A.
磷钙玻璃
B.
三氯氧磷
C.
三氯化磷
D.
磷烷
E.
掺磷二氧化硅乳胶源
题目标签:
扩散源
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集成电路制造工艺员(三级)题库
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举一反三
【简答题】扩散工艺是在硅片的一面通过扩散磷来形成 ,采用 作为扩散源,提供磷原子。
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【单选题】题3-2-5 根据扩散源的不同,有三种不同扩散工艺,以下不是的是。
A.
固态源扩散
B.
液态源扩散
C.
替位式扩散
D.
气态源扩散
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【简答题】扩散工艺是在硅片的一面通过扩散磷来形成P-N结,采用( )作为扩散源,提供磷原子。磷扩散的扩散机制是( )。
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【单选题】扩散源成分是()
A.
三氯氧磷
B.
五氧化磷
C.
五氧化二磷
D.
盐酸
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【多选题】下列可作为磷扩散源的是()。
A.
磷钙玻璃
B.
三氯氧磷
C.
三氯化磷
D.
磷烷
E.
掺磷二氧化硅乳胶源
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【多选题】下列可作为磷扩散源的是()。
A.
磷钙玻璃
B.
三氯氧磷
C.
三氯化磷
D.
磷烷
E.
掺磷二氧化硅乳胶源
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【简答题】扩散源有哪些存在形态?
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【单选题】扩散源温一般控制在()。
A.
19℃
B.
20℃
C.
21℃
D.
22℃
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