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【简答题】
以P
2
O
5
为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
题目标签：
杂质扩散
多晶硅
质扩散
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半导体制造技术题库
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
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A.
清洗制绒
B.
pn结制备
C.
减反膜制备
D.
电极制备
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A.
利用高频感应线圈和辅助线圈加热多晶硅棒
B.
每一炉需要消耗一支坩埚
C.
有种晶、引细颈、放肩过程
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A.
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B.
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C.
直拉法
D.
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A.
沉积法
B.
直拉法
C.
区熔法
D.
三氯氢硅的氢还原法
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【判断题】在高纯多晶硅中掺入微量的第ⅤA族元素，就形成N型半导体。
A.
正确
B.
错误
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