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【判断题】

以下说法正确吗。Q4：MacEtch技术在刻蚀Si和GaN 的纳米结构的应用上， 能达到的最小的横向分辨率分别是多少？A4：我们可以用光刻（optical lithography），电子束光刻（EBL，e-beam lithography）甚至可以用扫描透射电子显微术（STEM， scanning transmission electron microscope）来沉积单个原子或者原子线图形，我们也在探索，我们最小能做到什么尺寸。当前的话，最小的结构是利用EBL沉积金属图案获得的5 nm的纳米结构。（ ）

A.
正确
B.
错误
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题目标签：单个原子沉积金属电子束光刻
参考答案：
参考解析：
.
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举一反三

【单选题】单个原子所具有的能量的特点是（）
A.
能量可以任意取值
B.
能量只能取一些分立的值
C.
能量的大小主要由电子的角动量确定
D.
能量取值不受外加电场或磁场的影响
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【多选题】在IC工艺中沉积金属薄膜可以使用下列哪些方法?
A.
蒸发
B.
溅射
C.
激光脉冲沉积
D.
离子束增强沉积
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【判断题】电铸加工是在芯模表面电沉积金属，然后使两者分离来支取零件的工艺。
A.
正确
B.
错误
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【多选题】属于阴极表层沉积金属的电化学加工工艺技术有( )。
A.
电解
B.
电铸
C.
涂镀
D.
电镀
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【判断题】电子束光刻不能制备10nm以下的结构器件。
A.
正确
B.
错误
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【判断题】电铸是通过在芯模表面电沉积金属，然后将金属镀层从芯模上分离而制取金属制品的工艺。
A.
正确
B.
错误
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【单选题】与其他光刻技术相比,下列哪项不是电子束光刻的优点?
A.
光刻分辨率高
B.
精度低但具有很高的生产能力
C.
不需要掩膜板，很灵活
D.
适合特殊要求的制备生产
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【单选题】一般来说,单个原子的电子能级是准连续的还是离散的?
A.
准连续的
B.
离散的
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【简答题】如图装置中，b电极用金属M制成，a、c、d为石墨电极，接通电源，金属M沉积于b极，同时a、d电极上产生气泡．试回答：（1）a为______极，c极的电极反应式为______．（2）电解开始时，在B烧杯的中央，滴几滴淀粉溶液，你能观察到的现象是：______，电解进行一段时间后，罩在c极上的试管中也收集到了气体，此时c极上的电极反应为______．（3）当d极上收集到44.8mL气体（标准状况）时停...
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【简答题】（10分）下图中p、q为直流电源两极，A极由金属单质X制成，B、C、D为铂电极，接通电源，金属X沉积于B极，同时C、D产生气泡。试回答： （1）p为_____极，A极发生了______反应。 （2）C极的电极反应方程式为：______________________； （3）在电解过程中，测得了C、D两极上产生的气体的实验数据如下：仔细分析以上实验数据，请说出可能的原因是 ______ 。 时间（...
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