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【单选题】
磁控溅射是在()靶面上安装一个环状磁靶以使二次电子跳跃式地沿着环状磁场转圈,离子轰击靶面产生的二次电子。
A.
阳极
B.
阴极
C.
阳极或阴极
D.
阳极和阴极
题目标签:
磁控溅射
离子轰击
环状磁场
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参考答案:
参考解析:
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举一反三
【简答题】磁控溅射主要有哪几种?特点是什么?
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【单选题】磁控溅射与二级溅射相比的特点是( )
A.
镀膜速率慢
B.
靶材利用率高
C.
基片温度低、损伤小
D.
结构简单
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【多选题】以下哪些是磁控溅射的特点
A.
溅射参数不易独立控制,工艺重复性差
B.
基片温升低,辐照损伤小
C.
工作气压较低,靶电流密度高
D.
基板的温升高,辐照损伤大
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【简答题】如图所示,环状匀强磁场B围成的中空区域,具有束缚带电粒子作用.设环状磁场的内半径R1=10cm,外半径为R2=20cm,磁感强度B=0.1T,中空区域内有沿各个不同方向运动的α粒子,试计算能脱离磁场束缚而穿出外圆的α粒子的速度最小值,并说明其运动方向.(已知质子的荷质比q/m=108C/kg )
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【简答题】磁控溅射的原理:
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【简答题】简述高能离子轰击的内容。
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【单选题】磁控溅射是在()靶面上安装一个环状磁靶以使二次电子跳跃式地沿着环状磁场转圈,离子轰击靶面产生的二次电子。
A.
阳极
B.
阴极
C.
阳极或阴极
D.
阳极和阴极
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【简答题】磁控溅射的特点是什么?
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【单选题】磁控溅射台上分子泵与真空镀膜机中的哪个部件功能类似?
A.
机械泵
B.
油扩散泵
C.
热偶计
D.
真空泵
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【判断题】薄膜式热电偶是用真空蒸镀、离子镀或磁控溅射的方法,把热电极材料蒸镀在很薄的绝缘基板(陶瓷片或云母片)上,两种相同的金属薄膜形成了热电偶。
A.
正确
B.
错误
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