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【多选题】
氮化硅的晶型有：
A.
β-氮化硅
B.
α-氮化硅
C.
ζ-氮化硅
D.
γ-氮化硅
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题目标签：
氮化硅
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【多选题】氮化硅的晶型有：
A.
β-氮化硅
B.
α-氮化硅
C.
ζ-氮化硅
D.
γ-氮化硅
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【多选题】氮化硅陶瓷的特点
A.
硬度高
B.
摩擦因子小，具有自润滑性
C.
化学稳定性好
D.
较高的室温抗弯强度和断裂韧性
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【判断题】多晶氮化硅膜厚度为80-85nm。
A.
正确
B.
错误
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【判断题】管P膜的成分是氮化硅。
A.
正确
B.
错误
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【多选题】镀氮化硅膜的主要作用有
A.
减少太阳光的反射
B.
氮化硅膜有良好的绝缘性
C.
对晶硅缺陷有钝化作用
D.
耐腐蚀性好
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【单选题】氮化硅膜的折射率与什么有关
A.
组成薄膜的原子个数比
B.
薄膜的原始材料
C.
反应炉腔的洁净程度
D.
反应的时间
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【多选题】氮化硅的CVD制备方法有（）。
A.
LCVD
B.
LPCVD
C.
PECVD
D.
APCVD
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【单选题】氮化硅的性能不包括（）
A.
抗氧化性
B.
抗渣性
C.
抗热震性
D.
提高炮泥的磨蚀能力
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【简答题】氮化硅在IC芯片上的用途
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【多选题】氮化硅膜的特性
A.
强度高
B.
耐高温
C.
化学稳定性好
D.
绝缘
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