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参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【单选题】下面选项中哪个选项对电子束光刻的描述是错误的？（）
A.
是利用某些高分子聚合物对电子敏感而形成曝光图形的一种光刻技术。
B.
电子束曝光的精度可以达到纳米量级，可以制作纳米结构器件。
C.
电子束曝光的曝光效率比较高。
D.
电子束光刻可用于集成光学器件，如光栅，光子晶体等。