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【多选题】

化学提纯高纯多晶硅的制备是指通过化学反应,将硅转化为容易提纯的中间化合物,再利用精馏提纯等技术提纯中间化合物,再将中间化合物还原成高纯硅,工业中应用的技术主要有()。

A.
三氯氢硅氢还原法
B.
硅烷热分解法
C.
四氯化硅氢还原法
D.
碳热还原法
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参考答案:
参考解析:
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举一反三

【单选题】直熔法生长的铸造多晶硅的主要特点是()

A.
利用高频感应线圈和辅助线圈加热多晶硅棒
B.
每一炉需要消耗一支坩埚
C.
有种晶、引细颈、放肩过程