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"离子注入机"相关考试题目
1.
离子注入机按束流大小分为（ ）。
2.
离子注入机可用于微电子线路加工
3.
离子注入机中，用于筛除同位素，保障高纯度离子注入的装置是
4.
离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成，其中，（ ）是离子注入机的核心部位。
5.
离子注入机中，处于末端的离子阻挡器内安装有法拉第电流检测器，用于检测离子流的稳定性。
6.
离子注入机按能量高低分为（ ）。
7.
下列有关离子注入机基本单元定义说法错误的是（）
8.
离子注入机实际上是一种加速器
9.
一台离子注入机,本质上就是一台粒子()。
10.
离子注入机应有良好的射线防护设施，在距机器外表面50mm处检测射线剂量应小于（ ）mR/h。
11.
离子注入机机架外壳和高压放电棒接地电阻小于（）
12.
简述离子注入机的各部分工作原理？
13.
离子注入机中离子产生说法正确的是（）
14.
离子注入机的对Si衬底作P型掺杂的源气常用（），N型掺杂的源气常用（）和（）。对GaAs做N型掺杂的源气常用（）
15.
离子注入机通过什么方式将杂质注入SiWafer？（）
16.
离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度？（）
17.
对于离子注入机，下列说法正确的是
18.
根据环境保护部、国家卫生和计划生育委员会《关于发布的公告》（公告2017年第66号），离子注入机属于（ ）类射线装置。
19.
为了避免离子在散射开始前就深入晶体内,大多数离子注入机会选择()的角度向晶圆发射离子束。
20.
离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？
21.
离子注入机剂量（Dose量）解释说明正确的是（）
22.
离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？
23.
离子注入机可用于微电子线路加工
