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【判断题】

离子注入机可用于微电子线路加工

A.

错

B.

对

题目标签：注入机离子注入机微电子

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相关题库：走近核科学技术-2017秋冬

参考答案：

参考解析：

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举一反三

【单选题】离子注入机中，用于筛除同位素，保障高纯度离子注入的装置是

A.

萃取电极

B.

质谱仪

C.

加速电极

D.

电荷中性化系统

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【简答题】微电子工艺实验室净化的三道防线分别是()()、()()及()()。

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【单选题】离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成，其中，（）是离子注入机的核心部位。

A.

加速器

B.

质量分析器

C.

四级透镜

D.

离子源

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【单选题】微电子相敏接收器绿灯闪：表示（）。

A.

表示轨道电路空闲

B.

表示有车占用

C.

24V直流电源正常

D.

表示局部电源故障

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【简答题】[名词解释] 微电子

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【单选题】离子注入机中离子产生说法正确的是（）

A.

通过热电子轰击气体原子，离子源产生离子

B.

热电子通常由热钨丝源产生

C.

I/SMagnet可以增加电离并稳定离子体

D.

其余都正确

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【简答题】简述微电子工艺的特点

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【单选题】离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度？（）

A.

通过控制注入速度（能量）

B.

通过控制注入电压

C.

通过控制注入电流

D.

通过控制注入电阻

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【多选题】微电子产业的特点有( )。

A.

商品寿命短

B.

技术含量高，人才需要大

C.

对材料及产品可靠性要求高

D.

制造环境要求高

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【简答题】为了避免离子在散射开始前就深入晶体内,大多数离子注入机会选择()的角度向晶圆发射离子束。

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