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【多选题】

离子注入机按能量高低分为( )。

A.
低能离子注入机(能量范围<100 keV)
B.
中能离子注入机(能量范围100~300 keV)
C.
高能离子注入机(能量范围>300~1000 keV)
D.
兆伏离子注入机(能量范围>1000 keV)
E.
千伏离子注入机(能量范围>1000 keV)
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参考答案:
参考解析:
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举一反三