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【单选题】

刻蚀工序减重测试频率是( )

A.
前2小时半小时测试1次,每次5片;之后1小时测试1次,每次5片。
B.
前2小时半小时测试1次,每次6片;之后1小时测试1次,每次5片。
C.
稳定后每3小时测试1次,每次5片。若有异常,可增加测试;
D.
前2小时1小时测试1次,每次5片;之后1小时测试1次,每次5片。
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参考答案:
参考解析:
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【单选题】刻蚀工序减重测试频率是( )

A.
前2小时半小时测试1次,每次5片;之后1小时测试1次,每次5片。
B.
前2小时半小时测试1次,每次6片;之后1小时测试1次,每次5片。
C.
稳定后每3小时测试1次,每次5片。若有异常,可增加测试;
D.
前2小时1小时测试1次,每次5片;之后1小时测试1次,每次5片。