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【判断题】

离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高。

A.
正确
B.
错误
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题目标签：扩散工艺离子注入均匀性
参考答案：
参考解析：
.
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举一反三

【单选题】下列泵中流量均匀性最差的是（）。
A.
离心泵
B.
螺杆泵
C.
叶片泵
D.
往复泵
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【单选题】煤粉的均匀性指数n越大，则煤粉的均匀性（）。
A.
越好；
B.
越差；
C.
不变
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【判断题】均匀性假设和各向同性假设是等价的
A.
正确
B.
错误
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【简答题】离子注入后退火的作用是什么？
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【简答题】离子注入工艺和扩散工艺相比的优点
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【多选题】用气不均匀性可分为( )。
A.
月不均匀性
B.
日不均匀性
C.
季节不均匀性
D.
年不均匀性
E.
小时不均匀性
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【多选题】离子注入有下面哪种特点：
A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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【单选题】用气不均匀性可以分为三种( )。
A.
年不均匀性、日不均匀性、时不均匀性
B.
月不均匀性、日不均匀性、时不均匀性
C.
年不均匀性、季节不均匀性、日不均匀性
D.
季节不均匀性、月不均匀性、日不均匀性
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【判断题】光刻胶可以作为离子注入掩膜。
A.
正确
B.
错误
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【简答题】评价物料均匀性的指标有？
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