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【简答题】
在等离子体源离子注入中,当负高压脉冲(幅值V)加到金属靶上时,靶表面附近电子立即被排斥出鞘层区域,由于离子质量大,没有来得及运动,留下一个均匀的离子鞘层,设离子密度为常数n, 并假设在鞘层边界电场和电势为零,求平板、柱形和球形靶鞘层内电场和电势分布,以及鞘层厚度表达式。
题目标签:
离子注入
电势为零
等离子体源
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参考答案:
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【简答题】[名词解释] 离子注入
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A.
能量
B.
剂量
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A.
正确
B.
错误
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【多选题】离子注入有下面哪种特点:
A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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A.
正确
B.
错误
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