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【多选题】

对深宽比大于1的接触孔淀积薄膜,为使接触孔各处的薄膜厚度均匀,可采取的方法有:

A.
采用带准直器的溅射淀积方法;
B.
采用长投准直溅射技术;
C.
采用蒸发的方法;
D.
采用反应离子溅射的方法。
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参考解析:
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举一反三

【多选题】对深宽比大于1的接触孔淀积薄膜,为使接触孔各处的薄膜厚度均匀,可采取的方法有:

A.
采用带准直器的溅射淀积方法;
B.
采用长投准直溅射技术;
C.
采用蒸发的方法;
D.
采用反应离子溅射的方法。
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采用带准直器的溅射淀积方法;
B.
采用长投准直溅射技术;
C.
采用蒸发的方法;
D.
采用反应离子溅射的方法。