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【简答题】
题目：原位化学气相沉积制备氮化钛和铝硅涂层及其性能研究
题目标签：
铝硅
化学气相沉积
氮化钛
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参考答案：
参考解析：
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举一反三
【简答题】气相沉积法分为（）和化学沉积法；化学沉积法按反应的能源可分为热能化学气相沉积、（） 。
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【单选题】以下不属于热丝化学气相沉积技术缺点的是（ ）。
A.
热丝寿命短；
B.
热丝会产生污染；
C.
所制备薄膜的晶粒尺寸大；
D.
所制备的薄膜缺陷态密度高。
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【简答题】简要说明物理气相沉积和化学气相沉积的区别是什么？
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【多选题】化学气相沉积中的输送现象包括:
A.
热量传递
B.
动量传递
C.
热流传递
D.
质量传递
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【简答题】化学气相沉 积 (CVD) 技 术 主要用于 车 削 类 刀具的表面涂 层 。
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【单选题】化学气相沉积是非均相反应，反应所需的活化能（）相同的均相反应。
A.
等于
B.
低于
C.
高于
D.
大大高于
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【判断题】硅铝明指的是铝硅系列合金。
A.
正确
B.
错误
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【简答题】化学气相沉积
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【简答题】化学气相沉积（CVD）
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【单选题】通常化学气相沉积(CVD)是在( )下进行。
A.
高温高压
B.
常温高压
C.
高温常压或低压
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