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【判断题】

化学机械抛光CMP设备中的抛光区域温度升高,抛光速率会减小,但是温度过高过低均会引起抛光质量下降。

A.
正确
B.
错误
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参考答案:
参考解析:
.
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举一反三

【单选题】采用机械抛光时砂纸和油石的选取一般按照( )的顺序进行选取进行抛光。

A.
先大目数再小目数
B.
先小目数再大目数
C.
先大目数再小目数,最后再用大目数
D.
无顺序要求