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【多选题】
刻蚀减薄量道间差的原因有()。
A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常
题目标签:
减薄
刻蚀
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参考答案:
参考解析:
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举一反三
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【简答题】简述BOE(或BHF)刻蚀SiO2的原理。
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【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是
A.
稀释碱
B.
去PSG(磷硅玻璃)丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
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【简答题】刻蚀分为湿法刻蚀和________刻蚀
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【简答题】简述干法刻蚀的应用
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【简答题】刻蚀有干法刻蚀和( )。
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【简答题】刻蚀模
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【判断题】GNX200B减薄机可以加工12寸晶圆。
A.
正确
B.
错误
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【单选题】Rena刻蚀HIKUPERC的减薄量范围为()
A.
0.15±0.04g
B.
0.3±0.05g
C.
0.8±0.05g
D.
0.5±0.08g
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【简答题】什么是刻蚀?
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【简答题】【名词解释】比例减薄
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【单选题】鼓轮磨损通常的减薄量是()mm。
A.
1-2
B.
1-3
C.
2-4
D.
2-3
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【单选题】Rena刻蚀边缘电阻为()
A.
<1KΩ
B.
=1KΩ
C.
>1KΩ
D.
≤1KΩ
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【单选题】DFG8540减薄机warm-up的含义是()。
A.
暖机
B.
复位
C.
终止
D.
开始
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【判断题】减薄胶膜的有效期为2年。
A.
正确
B.
错误
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【简答题】【名词解释】减薄
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【简答题】湿法刻蚀有什么缺点?
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