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【多选题】

刻蚀减薄量道间差的原因有()。

A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常
题目标签:减薄刻蚀
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参考答案:
参考解析:
.
刷刷题刷刷变学霸
举一反三

【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是

A.
稀释碱
B.
去PSG(磷硅玻璃)丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
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【单选题】Rena刻蚀HIKUPERC的减薄量范围为()
A.
0.15±0.04g
B.
0.3±0.05g
C.
0.8±0.05g
D.
0.5±0.08g