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【多选题】
刻蚀减薄量道间差的原因有（）。
A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常
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题目标签：
减薄
刻蚀
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
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A.
稀释碱
B.
去PSG（磷硅玻璃）丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
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A.
正确
B.
错误
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