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【判断题】

离子注入工艺中入射离子能量低于临界能量时核阻止本领占主导，高于临界能量时电子阻止本领占主导。

A.
正确
B.
错误
题目标签：离子注入阻止本领临界能量
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参考答案：
参考解析：
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【简答题】[名词解释] 离子注入
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【单选题】离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
A.
能量
B.
剂量
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【简答题】离子注入后退火的作用是什么？
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【简答题】离子注入工艺和扩散工艺相比的优点
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【判断题】离子注入法是PN结的制备方法。
A.
正确
B.
错误
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【简答题】简述离子注入退火目的与方法。
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【多选题】离子注入有下面哪种特点：
A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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【判断题】离子注入可通过控制注入离子能量，注入时间等调节杂质的浓度和深度。
A.
正确
B.
错误
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【简答题】离子注入主要部件有哪些？
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【简答题】简述离子注入工艺中退火的主要作用？
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