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【判断题】
虽然直至今日我们仍普遍采用扩散区一词,但是硅片制造中已不再用杂质扩散来制作pn结,取而代之的是离子注入。
A.
正确
B.
错误
题目标签:
取而代之
离子注入
杂质扩散
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A.
正确
B.
错误
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A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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A.
正确
B.
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