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【判断题】

离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。

A.
正确
B.
错误
题目标签：带电粒子离子注入粒子束
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相关题库：集成电路工艺原理题库
参考答案：
参考解析：
.
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举一反三

【单选题】用具有相同动能的 α 粒子束和质子束分别与金箔正碰,测量金原子核半径的上限,问用质子束所得结果是用 α 粒子束所得结果的几倍?
A.
1/4
B.
1/2
C.
1
D.
2
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【单选题】离子注入机中，用于筛除同位素，保障高纯度离子注入的装置是
A.
萃取电极
B.
质谱仪
C.
加速电极
D.
电荷中性化系统
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A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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【判断题】光刻胶可以作为离子注入掩膜。
A.
正确
B.
错误
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A.
正确
B.
错误
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【单选题】用相同能量的 a 粒子束和质子束分别与金箔正碰,测量金原子核半径的上限。 问用质子束所得结果是用 a 粒子束所得结果的几倍?
A.
1/4
B.
1/2
C.
1
D.
2
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