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【简答题】

图3-10(a)所示为一种测pn结结深x j 的方法.在n型半导体的基质硅片表面经杂质扩散而形成p型半导体区.p区与n区的交界面叫pn结,pn结距表面的深度(即p区厚度)x j 叫结深.在半导体工艺上需要测定结深,测量的方法是先通过磨角、染色,使p区和n区的分界线清楚地显示出来,然后盖上半反射膜,在它与硅片之间形成尖劈形空气薄膜.用单色光垂直照射时,可以观察到空气薄膜的等厚干涉条纹.数出p区空气薄膜的条纹数目△k,即可求出结深 x j =△k(λ/2). 由于光在金属或半导体表面反射时相位变化比较复杂,用本方法测量结深x j 没有考虑此相位突变,因此测量结果不太精确.更精确的测量方法见图3-10(b),半反射膜不是像在图3-10(a)中那样紧贴在p区上表面,而是一端稍微往上翘一点,观察到的干涉条纹如图3-10(b)下方所示.试说明:

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参考答案:
参考解析:
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刷刷题刷刷变学霸
举一反三

【单选题】以下不是等倾干涉条纹特点的是()。

A.
中央干涉条纹暗亮不确定
B.
中央干涉条纹的级次最大
C.
中央干涉条纹暗亮可以确定
D.
薄膜厚度增大,中央条纹级次也增大

【单选题】牛顿环干涉条纹的特点有()

A.
明暗相间,等间距的直条纹
B.
明暗相间, 等间距同心圆环
C.
明暗相间,随机性条纹
D.
明暗相间 , 内疏外密的同心圆环

【单选题】以下不是等厚干涉条纹特点的是()。

A.
条纹是等间距的
B.
条纹平行于棱边
C.
相邻明条纹和暗条纹的高度差是相同的
D.
条纹是不等间距的

【多选题】干涉条纹不清晰的主要原因有()。

A.
镜面上有灰尘
B.
物镜焦距不适当
C.
灯丝位置不对、光线不正
D.
反射三棱镜座簧片锈蚀或压紧弹片失去作用

【单选题】下面哪个不是牛顿环干涉条纹的特点

A.
明暗相间
B.
内疏外密
C.
内密外疏
D.
不等间距同心圆