多晶硅生产工艺流程如下：

（1）粗硅粉碎的目的是。分离SiHCl3 (l)和SiCl4(l)的方法为。
（2）900℃以上， H2与SiHCl3发生如下反应：SiHCl3 (g)+ H2 (g) Si (s) + 3HCl (g) ΔH ＞0，其平衡常数表达式为K =。为提高还原时SiHCl3的转化率，可采取的措施有。
（3）该流程中可以循环使用的物质是。
（4）SiCl4与上述流程中的单质发生化合反应，可以制得SiHCl3，其化学方程式为。