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【多选题】

划片划好放入氮气柜待加工的晶圆必须注意（）

A.
摆放整齐端正
B.
确保卡物不分离且流程卡
C.
晶圆管制卡必须装入塑料袋后方可放入
D.
晶圆提篮的卡环必须卡上
E.
注意氮气流量阀门是否打开
题目标签：划片气柜氮气柜
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参考答案：
参考解析：
.
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举一反三

【简答题】气柜开、停车排气操作？
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【单选题】停风机后能有效切断气柜煤气倒流的措施是（）
A.
关机前蝶阀
B.
关闭机前盲板阀
C.
三通阀转放散
D.
关水封逆止阀
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【判断题】煤气柜活塞最大速度控制在≤1m／min。（ ）
A.
正确
B.
错误
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【单选题】5万m5稀油密封式煤气柜与有明火的维修工棚之间的防火间距应为多少米？（）
A.
25
B.
30
C.
40
D.
50
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【单选题】煤气柜体上应设煤气紧急放散装置，煤气紧急放散装置的管口应高出柜顶檐口（）以上。
A.
2m
B.
3m
C.
4m
D.
5m
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【简答题】干式气柜主要靠活塞上下移动来（）或（）。
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【单选题】气柜各部件中预制的关键是( )。
A.
导轨预制
B.
立柱预制
C.
上、下水封预制
D.
拱顶骨架预制
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【判断题】气柜装置开工时，氮气置换到氧含量小于1%方可进气。
A.
正确
B.
错误
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【单选题】气柜由( )与各活动塔节组成。
A.
水槽
B.
水封
C.
扶梯
D.
螺旋导轨
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【单选题】进气柜检查人员不得少于( )人,严禁携带火种进入气柜。
A.
1
B.
2
C.
4
D.
6
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