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【单选题】
属于物理气相淀积的工艺有( ) (1)蒸发 (2)溅射 (3)硅烷热分解淀积多晶硅 (4)硅烷氧化生成SiO 2
A.
⑴⑵
B.
⑴⑶
C.
⑴⑷
D.
⑴⑵⑷
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【单选题】属于化学气相淀积的是( ) ( 1 )蒸发 ( 2 )溅射 ( 3 )硅烷热分解淀积多晶硅 ( 4 )硅烷氧化生成 SiO 2
A.
⑴⑵
B.
⑴⑶
C.
⑵⑷
D.
⑶ ⑷