μm以下的颗粒分离时，可以选择湿法除尘设备、电除尘器、袋滤器等。其中文丘里除尘器可除去1μm以上的颗粒，袋滤器可除去0.1μm以上的颗粒，电除尘器可除去0.01μm以上的颗粒。