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【简答题】

制造半导体元件时,常常要精确测定硅片上二氧化硅薄膜的厚度,这时可把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉,使其形成劈尖,利用等厚条纹测出其厚度。已知Si的折射率为3. 42,SiO2的折射率为1. 5,入射光波长为589.3 nm,观察到7条暗纹(如图22. 7所示)。问SiO2薄膜的厚度h是多少?

参考答案:
参考解析:
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举一反三