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【判断题】
每台扩散炉有4根炉管
A.
正确
B.
错误
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题目标签：
扩散炉
参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【多选题】扩散炉保养前需确认（）。
A.
工艺结束
B.
注销应用程序，锁管
C.
准备保养辅材
D.
穿戴好劳保用品
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【判断题】扩散炉不可以兼容166.75的硅片。
A.
正确
B.
错误
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【单选题】扩散炉的扩散源出现故障时正确的操作为______。
A.
关闭设备电源后向当班领导报告
B.
关闭相应气路的手动阀并暂停工艺
C.
停止扩散马上出舟
D.
迅速撤离现场
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【单选题】扩散炉待机温度（）。
A.
900
B.
780
C.
1000
D.
850
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【多选题】扩散炉管维护后，复机时需要进行哪些（ ）确认动作
A.
设备人员确认炉管温度与状态
B.
石英舟与炉管进行饱和
C.
工艺人员确认每管产线工艺
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【多选题】扩散炉运行需要的厂务条件包括（ ）
A.
热排风
B.
酸排风
C.
氮气供应
D.
氧气供应
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【多选题】低压扩散炉压力控制部分主要为（）。
A.
真空泵
B.
过滤器
C.
积液瓶
D.
压力计
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【判断题】扩散过程中，小氮的作用是携带三氯氧磷进入扩散炉管（ ）
A.
正确
B.
错误
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【判断题】每台扩散炉有4个存储位
A.
正确
B.
错误
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【单选题】扩散时，POCl3随下列哪种气体进入扩散炉工艺腔？（）
A.
大N
2
B.
干O
2
C.
扩散小N
2
D.
清洗小N
2
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