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【单选题】
不影响三氯氢硅氢还原的因素是
A.
氢还原反应及沉积温度
B.
反应混合气配比
C.
反应气体流量
D.
三氯氢硅的纯度
E.
沉积表面积
F.
还原反应时间
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参考答案：
参考解析：
刷刷题刷刷变学霸
举一反三
【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至（ ）系统
A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒