湿敏电容上电极是一层多孔金膜，能透过水汽；下电极为一对刀状或梳状电极，引线由下电极引出；基板是玻璃；整个感应器是由两个小电容器串联组成。当传感器置于大气中，大气中水汽透过上电极进入介电层，介电层吸收水汽后，介电系数发生变化，导致电容器电容量发生变化。电容量的变化正比于相对湿度。