电弧加热蒸发技术 它是将膜料制成电极,在真空室中通电后依靠调节 的方法来点燃电弧,瞬间的高温电弧使电弧端部产生蒸发,从而实现镀膜。控制电弧的点燃次数或时间就可沉积出一定厚度的薄膜。此技术的优点是加热温度 ,适用于熔点 和具有导电性的难熔金属和 等的蒸发并且装置较为简单和廉价;同时可以避免电阻加热材料或坩埚材料的污染。