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【判断题】

造成反常短沟道效应的原因是由于氧化扩散增强工艺,使得源漏区向沟道处发生了额外的杂质扩散。

A.
正确
B.
错误
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参考答案:
参考解析:
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刷刷题刷刷变学霸
举一反三

【多选题】下列哪些因素会使杂质扩散速率提高?

A.
横向扩散效应
B.
场助扩散效应
C.
衬底为重掺杂硅
D.
硅衬底缺陷密度高