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【多选题】

CMP技术虽然有很多优点,但也有很多缺点,主要有

A.
影响CMP质量的因素很多,工艺很难控制
B.
引入新的杂质和缺陷
C.
需要开发额外的技术进行工艺控制和测量
D.
设备和消耗品费用昂贵,维护费用高
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题目标签:技术虽然
参考答案:
参考解析:
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举一反三

【单选题】常用的浓缩技术有()

A.
沉降和过滤
B.
过滤和离心分离
C.
常压干燥和减压干燥
D.
喷雾干燥和冷冻干燥
E.
蒸发和蒸馏

【单选题】应用较广泛的深度处理技术不包括______。

A.
活性炭吸附
B.
生物接触氧化
C.
生物活性炭
D.
臭氧氧化