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【判断题】

干氧氧化比湿氧氧化的氧化速率快,生成的二氧化硅膜的致密性更好。

A.
正确
B.
错误
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参考答案:
参考解析:
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举一反三

【多选题】提高热氧化速率的方法有:

A.
增加氧化剂压力
B.
提高温度
C.
进行掺杂
D.
选用合适的氧化方法,例如湿氧氧化