电子显微镜是肉眼和放大镜的辨别能力很低,而用显微镜可以将微细部分放大成像便于人们用肉眼观察,已成为常用的分析工具。然而,由于受到 波长的限制,其分辨最大为 nm ,远远不能满足表面分析的要求。为此,相继出现了一系列高分辨率的显微分析仪器:以电子束特性为技术基础的电子显微镜, 以声学为技术基础的声学显微镜等。其中有的显微镜分辨率可以达到约 0.1 原子尺度水平。