(1)调整静电值;
(2)调整下胶手的位置(下胶半径大小)和下胶量;
(3)检查压胶手臂是否水平;
(4)调整Bonding三段的位置;
(5)Bonding的松紧、快慢、延时的设置;
(6)调整吹气量;
(7)白片是否有飞边;
(8)在不影响中心孔的情况下,适当地增大3段甩胶速度和时间。
(1)首先将注塑机内的润滑残油清洁干净;
(2)旋涂室内机台表面污迹擦干净;
(3)将旋涂碗、洗边碗抽风管路疏通清洁。
(1)检查电源线接口是否接好,将多个接口重新插接一下。
(2)空开是否合闸。
(3)检查UV灯是否坏(是否碎或发黑,有明显打火痕迹)。
(4)与其它机对换电源、驱动器、UV灯座,逐个判断哪一个有问题。
(1)有利于旋涂室内恒定的温湿度;
(2)恒温恒湿机可以用来调整OD;
(3)不太受外界环境影响;
(4)其本身为第二段的温度应比第一段温度高5~1℃。(因需先加热后才向旋涂室供风);
(5)恒温恒湿机循环水是否正常。
(1)注塑机按到手动状态,用顶针动作,看盘片能否掉下。
(2)用风枪轻轻地吹盘片,同时手要伸到中间隔开盘片,防止碰到母盘或镜面。
①校正PA;
②校正SA;
③检查TAB10和TAB11托盘;
④更换Mask。
一般检测仪不检测看设置是否by pass,如果没by pass可能是死机,关下溅镀机,关掉PC机,然后关掉电脑,最后断是,待过3—5分钟后再开机就可以了。